全部產品介紹

⿻ 具有專利設計的非接觸式超音波除塵設備
⿻ 有效提升良率，可去除1.6μm以上細微粉塵
⿻ 特殊噴嘴設計，出風效果均ㄧ
⿻ 超音波性能不易劣化
⿻ 應用範例 薄膜 玻璃 LCD / OLED PCB / FPCB

⿻ 非接觸式雙面超音波除塵設備
⿻ 有效提升良率，可去除1.6μm以上細微粉塵
⿻ 全球首創可同時清潔0.2mm薄型玻璃基板
⿻ VUV-F2支持薄型 ( 0.4t 以上 )
⿻ VUV-F3支持超薄型 ( 0.3t 以下 )
⿻ 應用範例 玻璃 LCD / OLED

⿻ 小尺寸高壓超音波清潔頭
⿻ 使用壓縮機強力除塵
⿻ 應用範例 薄膜 玻璃 LCD / OLED 半導體

⿻ 超音波局部或單點式清潔頭
⿻ 手持式除塵設備
⿻ 適合局部除塵
⿻ PEN-G為手持式 PEN-S為固定式
⿻ 應用範例 半導體

⿻ 噴射氣流式真空除塵設備
⿻ 藉由高速氣流可去除20µm以上的粉塵
⿻ 非接觸式設計，不會造成基材表面損傷
⿻ 應用範例 薄膜 玻璃 PCB / FPCB

⿻ 非接觸式清潔設備入門款
⿻ 可去除10μm以上粉塵
⿻ 與超音波除塵設備相比，初期成本較低
⿻ 有效長可對應到3米
⿻ 應用範例 薄膜 玻璃 PCB / FPCB

⿻ 標準機可減少人力成本，具有價格競爭力
⿻ 訂製機可依個別需求，客製化設計

⿻ HEPA FILTER
⿻ PRE FILTER
⿻ 可有效過濾0.3μm粉塵，達99.97%

⿻ 標準型(S) / 高壓型(H)
⿻ 功率 3.6kw~18kw
⿻ 大風量低噪音
⿻ 符合國際高率規制IE3
⿻ 與同級鼓風機比較省驗20%以上

⿻ AC Type Fan Filter Unit
⿻ DC Type Fan Filter Unit