VUV-F2 & F3

  1. 乾式超音波除塵設備
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    VUV-F2 & F3

    ⿻ 非接觸式雙面超音波除塵設備
    ⿻ 有效提升良率，可去除1.6μm以上細微粉塵
    ⿻ 全球首創可同時清潔0.2mm薄型玻璃基板
    ⿻ VUV-F2支持薄型 ( 0.4t 以上 )
    ⿻ VUV-F3支持超薄型 ( 0.3t 以下 )
    ⿻ 應用範例 玻璃 LCD / OLED