VUV-F2 & F3

⿻ 非接觸式雙面超音波除塵設備
⿻ 有效提升良率，可去除1.6μm以上細微粉塵
⿻ 全球首創可同時清潔0.2mm薄型玻璃基板
⿻ VUV-F2支持薄型 ( 0.4t 以上 )
⿻ VUV-F3支持超薄型 ( 0.3t 以下 )
⿻ 應用範例 玻璃 LCD / OLED