乾式超音波除塵設備

⿻ 具有專利設計的非接觸式超音波除塵設備
⿻ 有效提升良率，可去除1.6μm以上細微粉塵
⿻ 特殊噴嘴設計，出風效果均ㄧ
⿻ 超音波性能不易劣化
⿻ 應用範例 薄膜 玻璃 LCD / OLED PCB / FPCB

⿻ 非接觸式雙面超音波除塵設備
⿻ 有效提升良率，可去除1.6μm以上細微粉塵
⿻ 全球首創可同時清潔0.2mm薄型玻璃基板
⿻ VUV-F2支持薄型 ( 0.4t 以上 )
⿻ VUV-F3支持超薄型 ( 0.3t 以下 )
⿻ 應用範例 玻璃 LCD / OLED

⿻ 小尺寸高壓超音波清潔頭
⿻ 使用壓縮機強力除塵
⿻ 應用範例 薄膜 玻璃 LCD / OLED 半導體

⿻ 超音波局部或單點式清潔頭
⿻ 手持式除塵設備
⿻ 適合局部除塵
⿻ PEN-G為手持式 PEN-S為固定式
⿻ 應用範例 半導體